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新闻内容

    硅片研磨机的研磨液活性分析

    硅片研磨机在其研磨过程中研磨液的作用是非常关键的,研磨液的正确配制直接影响到工件磨出来的表面度与工件的尺寸。所以在研磨抛光中,研磨液的配制的正确性与优良性就至关重要。
     当然,每一道工序在硅片的研磨制作过程中都很重要,尤其是磨片。在这道工序中由于机械加工强度大、机械损伤、应力、离子沾污等问题严重,废品率很高,会对后续工艺造成很坏的影响。因而必须改善研磨机理,把单一的机械作用变为均匀稳定的化学机械作用,以达到浅损伤、低应力的目的,有效地减少破损层和应力的累积,提高产品质量和加工的效率,从而提高了整个硅片工艺的成品率。
     而在国内很多工序都是比较简单的工艺,缺乏先进的技术指导,使出现的问题更加严重。所以,解决磨片工序中的问题是很有必要,也是必然的。
     而深圳方达巧妙的引入研磨液,在硅片研磨抛光中合理的解决了这一难题。传统的减小应力方法多采用增加切削、研磨浆液的润滑性,提高浆液的散热能力,以迅速扩散加工产生热量,减少热应力。而研磨液在加工中起到的作用就能够一一解决,而且在工艺运用上比较方便。它的作用分以下:
     1.悬浮作用:研磨液中一般要加入磨料,磨料力度很大且硬度很高。而研磨液具有良好的悬浮性,磨料分布均匀并在很短的时间内不产生沉淀,这会大大提高研磨加工的质量和效率。加入的研磨液能吸附在固体颗粒表面上产生足够高的位垒,使颗粒分散开来,以达到分散、悬浮的特性。
     2.润滑作用:研磨液能够减少各种磨削下来的材质与研磨表面你的摩擦,起到润滑的作用。而且耐高温、高压,这是因为在润滑剂中加入了含有活性元素硫、氯等耐压添加剂的原因。这些化合物在边界条件较好的条件下,用于高温、高压的研磨加工,起润滑作用,防止工件的表面,特别是已经加工的表面的粗糙度的恶化,从而达到降低其损伤的目的。
     3.冷却作用:为防止工件的表面烧伤和产生裂纹,研磨液应能渗入高温研磨区域内,接近热源,进而降低研磨区温度,使之化学反应能达到一致,并且研磨液本身就具有良好的散热能力。在研磨加工过程中,为了使研磨液的导热性能和对工件表面润湿性运用的更好,通常会在研磨过程中加入稀释剂等表面活性剂作为辅助添加剂。这样就能使研磨液的渗透性和润滑性达到最大效果。
     4.好的研磨液能够让设备或者工件的防锈功能更好。、
     5.一般情况下,研磨液为碱性。在研磨过程中,碱可以和硅发生化学反应,尤其损伤层中悬空键密度大,反应较快,致使磨片剩余损伤层小,增加出片成功率,降低成本,产生更大的经济效益。
     6.在平面研磨机进行研磨加工的过程中,会产生大量研磨磨屑和磨粒粉末,容易粘附在工件和硅片研磨机上,影响工件的表面光滑度,降低机床的精度。但是,往往通过增强研磨液的动能、加大存量和增加压力,就能提高研磨的效率。而良好的清洗效果与研磨液的渗透能力息息相关,多以在选择研磨液的时候,应该选择适宜表面活性和采用量大的稀释比水溶液,可以让清洗效果达到很大的一个效果。
     通过上面对研磨液作用的分析,我们可以了解到平面研磨机中的硅片研磨机在研磨过程中,研磨液是一个不可或缺的重要条件。而更好的运用研磨液,就可以让生产的工件质量更高,出产率的提高,就是效益的提高。深圳方达,在平面研磨机上有十几年的研究经验,对研磨液的开发和运用也比较深入与熟练。我们生产的不只有研磨液,我们生产的是信赖与诚信。
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