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新闻内容

    平面抛光机对功能陶瓷的超精密加工有哪些方法?

        功能陶瓷主要是指利用材料的电、磁、声、光、热等方面直接的或耦合的效应以实现某种使用功能的陶瓷。目前功能陶瓷的种类繁多,在平面抛光机中超精密加工涉及到的功能陶瓷材料主要有半导体材料、磁性材料、基片陶瓷材料、功能玻璃材料、压电材料等。
        大部分功能陶瓷都是由晶体材料或粉末粉结成形的,不能通过类似金属铸造或塑性加工的方法来成形,与普通金属材料相比,功能陶瓷又具有弹性系数高、硬度高、加工变质层小、晶相稳定、耐腐蚀性好以及适合超精密平面抛光加工等特点.因此,要制造出高精度、高表面质量的功能陶瓷元件,必须进行超精密加工。
        
       那么平面抛光机对功能陶瓷的超精密加工方法主要有以下几种:
    1、非接触抛光
    非接触抛光是指工件与抛光盘在抛光过程中不发生接触,仅用抛光剂冲击工件表面,获得加工表面完美结晶性和精确形状,去除量为几个到几十个原子级的抛光方法。
    2.界面反应抛光
    当工件与磨粒摩擦界面处于高温高压状态时,工件表面容易形成极薄的一层化合物,这种反应物很容易通过研抛去除,最终高效地获得表面粗糙度为纳米级以下的完美表面。它是目前功能陶瓷与器件基片精密加工的主要方法。
    3.电场和磁场抛光加工
    电场和磁场抛光加工是利用和控制电、磁场的强弱使磁流体带动磨粒对工件施加压力从而获得高形状精度、高表面质量和晶体无畸变的表面的抛光方法,主要用于信息设备和精密机械高性能元件的加工。
    4.ELID超精密磨削技术
    采用微细铸铁维基金刚石砂轮对硅片进行超精密加工,稳定地实现了硅片的精磨削。可用于加工单晶硅、光学玻璃晶片、LED蓝宝石衬底等各种材料.表面粗糙度可达纳米级.可替代研磨和抛光。
    5.火花磨削
    利用磨削热水合反应,实现了陶瓷的低粗糙度磨削。
    6.孔加工技术
    陶瓷硬脆材料的孔加工技术主要有超声波加工和激光加工,由于功能陶瓷主要是面加工,所以在功能陶瓷加工上应用并不广泛。

       超精密平面抛光技术正朝低制造成本、高加工效率的方向发展.随着对抛光研究的不断深入,必将会出现加工质量更高、更实用的抛光方法。
    FD-380LP平面抛光机